研究内容:研究N型210单晶硅棒长晶工艺,提高N型210单晶硅棒生长速度、整棒率、成晶率,提升N型210单晶硅棒单位产出;研究高效能N型210单晶硅的制备,开展单晶炉热场技术研究攻关,降低长晶过程少子寿命的衰减速率。研究N型210单晶硅片薄片化切片工艺,实现薄片及超薄片研发与示范应用。
考核指标:
N型210单位产出:实现单炉次投料量≥950kg,N型210单晶硅单台月产≥4600kg。高效能N型210单晶硅:N型G12单晶硅少子寿命≥1200μs,N型210单晶硅片薄片化:硅片厚度110μm。
实施周期:3年
拟支持资金额度:1000万元
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